国产深紫外光刻机即将下线国内院士却罕见发声

  关注芯片技术的朋友们地终端,光刻机是生产制造芯片的必要设备,虽然全球有四家光刻机企业,但中高端光刻机市场却被ASML独占,其研发的DUV光刻机和EUV光刻机几乎占领了市场。

  据悉,DUV光刻机是深紫外光刻机,其能够适用于生产制造7nm以上制程的芯片,而EUV光刻机是极紫外光刻机,用来生产制造7nm以下制程的芯片。

  在这两种光刻机中,EUV光刻机可以说是一机难求,也就是因为没有EUV光刻机,增加了国内芯片企业突破7nm以下芯片技术的难度。

  全球四家光刻机企业中,两家在日本,一家在中国,一家是荷兰的ASML。中国的光刻机研发制造企业是上海微电子。

  数据显示,上海微电子研发生产的光刻机占领了国内八成以上的市场,而其研发生产的光刻机主要分为4个系列。

  其中,600系列是目前能够量产最先进的光刻机,其能够用来生产90nm等制程的芯片。但经过近年来的技术突破,上海微电子的光刻机技术直接从90nm突破了28nm。

  根据上海微电子发布的消息可知,全新一代光刻机即将下线量产,其属于深紫光光刻机,曝光精度可达28nm,可以说技术进步相当快。

  要知道,ASML的DUV光刻机,其曝光精度也是在这个范畴内,其中,英特尔通过双工作台发方式,利用DUV光刻机生产制造了10nm芯片。

  而台积电则利用多次曝光工艺,在只有DUV光刻机的情况下,量产了7nm芯片。

  也就是说,国产新一代新深紫外光刻机不仅能用来生产制造28nm制程的芯片,还能够用来生产制造10nm、7nm等制程的芯片。

  然而就在国产新一代深紫外光刻机即将下线之际,国内院士吴汉明罕见发声,其表示,EUV光刻机集合了全球顶尖科学技术,像美国光源、德国光学系统、英国真空等。

  这样的一台是任何一个国家都不可能完成的,即便是荷兰的ASML,其研发生产制造EUV光刻机,也是集合全球多国核心技术,即便如此,每年也就能够量产几十台。

  面对国内的院士的罕见发声,一部分网友认为,其如此表态,是向正在前进的国产光刻机泼冷水,认为国内厂商即便是推出了DUV光刻机,也不可能突破到EUV光刻机。

  因为ASML是利用全球供应链的技术,并将其整合研发推出了先进的EUV光刻机,国内光刻机厂商也应该整合全球供应链技术,才能加速光刻机技术突破。

  虽然美国修改规则,禁止相关技术出口到国内,但国内光刻机厂商应该整合国内供应链技术,通过分工合作、流水线的方式,加速技术突破,才能更快实现光刻机技术突破。

  毕竟仅通过一家公司的能力,是不可能完成EUV光刻机这样的高精端技术,即便是上海微电子推出了新一代深紫外光刻机,其也会陷入下一代光刻机泥潭中。

  类似这样的观点,尹志尧也曾表达过,其表示,要加大对半导体集成电路的投资力度,广泛吸引人才,并建立合作伙伴关系,而单打独斗,不仅会浪费资源,也阻碍技术进步。

  就像现在的韩国和台湾省,几乎都是集中所有力度在半导体技术上,才有现在的成就,否则,刘德音也不会喊话,重新评估供应链不如优先发展半导体人才。

相关新闻